晶圓測試用溫控設備

簡要描述：晶圓生產完成后，需要對其進行各種參數的檢測，在檢測的過程中，需要在不同溫度下進行測試，晶圓測試用溫控設備（晶圓測試溫控系統）是高精度，高分辨率，高穩定性的控制設備。

產品型號：PTXH
產品產地：上海
更新時間：2025-03-27
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詳細介紹

　　晶圓生產完成后，需要對其進行各種參數的檢測，在檢測的過程中，需要在不同溫度下進行測試。本實用新型屬于半導體測試技術領域。晶圓測試用溫控設備（晶圓測試溫控系統）是高精度，高分辨率，高穩定性的控制設備，操作簡單，可非標定制。
　　控溫系統：自主開發的溫度控制模塊，改變控制設定的方法，能夠盡快的響應過程中系統的滯后，得到最小溫度過沖。控制由兩組PID（每組PID是可變的）控制回路構成，這兩組控制回路成為主回路和從回路，主回路的控制輸出作為從回路的設定值。系統采用帶有前饋PV，主控回路的PID運行結果的輸出與前饋PV信號復合后作為主控回路的設定值，通過這樣對溫度變化進行梯度控制，保證系統的溫度精度。
　　高效換熱系統：系統采用管道式加熱冷卻，參與循環的液體非常少，制冷采用板式換熱器，，換熱效率高、結構緊湊，加熱采用管道式法蘭加熱器，整個系統的容積（板式換熱器容積+管道式加熱器容積+循環泵內容積+循環管路容積）。
　　控制重復性：基于高級動態控制系統，每次都能實現一致的控制結果，大大提升產品生產的穩定性。
　　產品外觀：外觀設計吸取國外進口產品的設計理念，采用大口徑石英玻璃液位計，液位計與操作屏放在同一側，觀察方便，風格簡約時尚，比列協調，專有的色彩搭配。
　　超高溫降溫技術：采用超高溫降溫技術，可以滿足在300℃高溫直接開啟壓縮機制冷降溫。
　　質量保障：所有的關鍵部件均選用進口品牌，確保產品長時間可靠運行。同時所有產品發貨前均經過嚴格測試與檢驗，確保設備到客戶現場不會出現任何問題。
　　了解溫控設備設備晶圓高低溫系統、半導體溫控系統、探針臺高低溫設備、載物臺控溫系統、載物臺高低溫系統選普泰克。

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